吸氣劑(getters)是維持超高真空(UHV，Ultra-High Vacuum)狀態的重要組件。吸氣劑的作用是捕捉和移除殘余氣體分子，以保持超高真空狀態。吸氣劑主要分為兩大類：蒸散型吸氣劑和非蒸散型吸氣劑。

（蒸散型非摻氮吸氣劑）

　　蒸散型吸氣劑

　　· 原理：通過加熱蒸發吸氣劑材料，使其在表面形成一層新鮮的吸附層，從而吸附氣體分子。

　　· 常見材料：鋇(Ba)、鈣(Ca)、鈉(Na)等金屬。

　　· 應用：主要用于真空管、陰極射線管和部分高真空系統。

（非蒸散型鋯鋁吸氣劑）

　　非蒸散型吸氣劑(NEG)

　　· 原理：通過加熱激活吸氣劑材料，使其表面暴露出活性位點，以吸附氣體分子，不涉及材料的蒸發。

　　· 常見材料：鈦(Ti)、鋯(Zr)、釩(V)等金屬及其合金。

　　· 應用：廣泛用于超高真空系統，如粒子加速器、電子顯微鏡、衛星和空間探測器、MEMS器件等。

　　非蒸散型吸氣劑(NEG，Non-Evaporable Getters)是廣泛用于維持超高真空環境的重要材料。它們通過化學吸附和表面擴散的方式捕捉殘余氣體分子，不會蒸發或遷移，因此非常穩定和持久。

　　根據真空系統中的氣體種類、工作溫度和真空要求，選擇適當的非蒸散型吸氣劑。吸氣劑通常以片狀、絲狀、網狀或涂層的形式安裝在真空系統的內部，確保其與氣體有足夠的接觸面積。在使用前，吸氣劑需要進行預處理和激活，以增強其吸附能力。

　　吸氣劑的激活

（感應加熱激活吸氣劑）

　　非蒸散型吸氣劑需要在高溫下激活，以清除其表面的氧化層并提高吸附能力。激活過程包括：

　　1. 加熱：將吸氣劑加熱到特定溫度，通常在400°C到900°C之間，具體溫度視吸氣劑材料和真空系統要求而定。

　　2. 保持真空：在加熱過程中保持真空環境，以防止新鮮氧化層形成。

　　3. 降溫：激活完成后，逐漸降溫至工作溫度。

　　非蒸散型吸氣劑的壽命主要取決于其吸附容量和工作條件。每種吸氣劑材料都有一定的吸附容量，當達到飽和時，吸氣能力顯著降低;過高或過低的工作溫度會影響吸氣劑的吸附效率和壽命;不同氣體對吸氣劑的吸附能力不同，高濃度的特定氣體可能迅速消耗吸氣劑的吸附能力。

　　吸氣劑的激活方式主要有兩種：熱激活和電激活。每種方法都有其獨特的機制和應用場景。

　　熱激活

　　熱激活是最常見的吸氣劑激活方式。通過加熱吸氣劑，使其表面的氧化層和其他污染物揮發或分解，從而暴露出活性金屬原子，增強其吸附能力。

　　熱激活的步驟

　　1. 安裝吸氣劑：將吸氣劑安裝在真空系統內部的適當位置。

　　2. 抽真空：啟動真空泵，使系統達到所需的低壓環境。

　　3. 加熱：

　　①　升溫：緩慢加熱吸氣劑，通常采用電加熱或通過外部加熱設備。升溫速率應控制在適當范圍內，避免因熱沖擊導致材料損壞。

　　②　保持溫度：當達到預定的激活溫度時，保持該溫度一定時間，以確保充分激活。激活溫度和時間取決于吸氣劑材料，例如，Zr-Al合金通常在400°C到600°C之間激活，保持數小時。

　　4. 降溫：逐漸降溫至工作溫度，避免過快降溫引起的熱應力和裂紋。

　　電激活

　　電激活是一種通過電流直接加熱吸氣劑或其基材，從而去除表面氧化層和雜質，激活吸氣劑表面的方式。

　　電激活的步驟

　　1. 安裝吸氣劑：將吸氣劑安裝在真空系統內部，并連接電源。

　　2. 抽真空：啟動真空泵，使系統達到所需的低壓環境。

　　3. 通電：

　　①　加電流：通過吸氣劑或其基材通入電流，利用電阻加熱效應加熱吸氣劑。電流的大小和持續時間根據吸氣劑材料和要求確定。

　　②　保持電流：在達到預定的激活溫度后，保持電流一定時間，確保充分激活。

　　4. 斷電和冷卻：逐漸減小電流，斷電后使吸氣劑自然冷卻至工作溫度。

　　通過對熱激活和電激活兩種方式的理解和選擇，可以根據實際需求和條件，優化吸氣劑的激活過程，確保其在超高真空系統中發揮最佳性能。

　　吸氣劑的反復激活

　　(某Zr-Al型吸氣劑對CO、H2的吸收曲線(圖左)與(圖右)某Zr-Ni-V-Fe-Re型吸氣劑對N2、CO、H2的吸收曲線)

　　吸氣劑的反復激活應用是指在使用過程中，通過多次激活吸氣劑來延長其使用壽命并維持其高效吸附性能。

　　反復激活的原理

　　吸氣劑的表面在吸附氣體分子后，逐漸被飽和，吸附能力下降。通過重新加熱或電激活，可以去除已吸附的氣體分子(例如通過分解或擴散的方式)，使吸氣劑表面恢復活性，從而恢復其吸附能力。

　　反復激活的方法

　　熱激活

　　1. 預熱：將吸氣劑加熱至一定溫度，通常略低于初始激活溫度，以避免材料的過度退化。

　　2. 保持溫度：在預定溫度下保持一段時間，通常為數小時，以確保吸附的氣體分子充分解吸。

　　3. 冷卻：逐漸冷卻至工作溫度，避免因急冷導致材料損傷。

　　電激活

　　1. 通電加熱：通過電流直接加熱吸氣劑，達到所需溫度，電流大小和持續時間根據吸氣劑材料和吸附狀態確定。

　　2. 保持電流：在達到預定溫度后，保持電流一定時間，確保充分解吸。

　　3. 斷電冷卻：逐漸減小電流，斷電后自然冷卻至工作溫度。

　　吸氣劑的反復激活應用在超高真空系統中具有重要意義。通過熱激活和電激活的方法，可以有效恢復吸氣劑的吸附能力，延長其使用壽命，并維持系統的高真空度。合理設計和操作反復激活過程，可以提高設備的運行效率和可靠性，降低維護成本。

　　介于吸氣劑在超高真空系統中的廣泛應用，還需要考慮到這類產品的真空封裝，當器件腔體內含有吸氣劑時，一個良好的封裝工藝，對維持超高真空環境起到了重要的作用，金密激光已經成功研發了一套含吸氣劑產品的真空封裝解決方案，可以有效避免真空激光焊接煙塵問題，保障腔體氣密性，獲得良好的封裝效果。歡迎有需要的朋友隨時溝通交流!